2025

31/10/2025

　kèo nhà cái euro vui mừng thông báo với bạn rằng chúng tôi đã quyết định xây dựng một nhà máy mới sản xuất các hợp chất kim loại MOR cho kỹ thuật in thạch bản EUV thế hệ tiếp theo (NA EUV cao) tại Nhà máy Hóa chất Kashima của chúng tôi

　Chất bán dẫn, thứ cần thiết để hiện thực hóa một xã hội CNTT tiên tiến, đang trở nên tích hợp và phân lớp cao hơn do xử lý thông tin nhanh hơn và tiêu thụ điện năng thấp hơn Trong những trường hợp này, trong quy trình in thạch bản (phơi sáng), trong đó chất quang dẫn được phủ trên một tấm silicon và ánh sáng được chiếu xạ để tạo thành các mẫu mạch tinh xảo, nhằm phù hợp với việc thu nhỏ hơn nữa bộ nhớ (HBM) và chất bán dẫn logic, ``phơi nhiễm EUV NA cao'' dự kiến ​​sẽ được giới thiệu đầy đủ, có thể tạo thành các mẫu mịn hơn bằng cách mở rộng khẩu độ số thấu kính của thiết bị phơi sáng EUV (tia cực tím) và tăng độ phân giải phơi sáng Cùng với đó, cần phải có sự thay đổi trong trò chơi về vật liệu được sử dụng trong chất quang dẫn được sử dụng trong quá trình phơi sáng và người ta dự đoán rằng chất quang dẫn khái niệm mới "MOR (điện trở oxit kim loại)" sẽ ngày càng được áp dụng kết hợp với CAR (điện trở khuếch đại hóa học) phổ biến hiện nay
　Hợp chất kim loại cho MOR do công ty chúng tôi sản xuất tại nhà máy mới là vật liệu chính để cải thiện tốc độ hấp thụ EUV và khả năng chống ăn mòn của chất quang dẫn, đồng thời được thương mại hóa bằng cách áp dụng công nghệ phức hợp kim loại cần thiết để tạo ra vật liệu điện môi cao cho bộ nhớ tiên tiến Sản phẩm này đã được sản xuất hàng loạt trên dây chuyền sản xuất vật liệu ALD tại Nhà máy Hóa chất Kashima và đã bắt đầu cung cấp cho khách hàng, và giờ đây, trước sự ra mắt toàn diện về mức độ phơi nhiễm NA EUV cao, một nhà máy mới sẽ được xây dựng dành riêng cho các hợp chất kim loại cho MOR Ngoài việc đảm bảo không gian trong tương lai của tòa nhà nhằm đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng trên quy mô lớn, chúng tôi cũng đang xem xét sản xuất vật liệu mới hướng tới cải tiến công nghệ trong quy trình in thạch bản thế hệ tiếp theo, bao gồm cả việc tiếp xúc với EUV NA cao

　Tập đoàn kèo nhà cái euro góp phần cải thiện hiệu suất của chất bán dẫn bằng một số vật liệu tiên tiến, bao gồm vật liệu điện môi cao (vật liệu ALD) cho bộ nhớ bán dẫn tiên tiến và máy tạo axit quang cho phơi nhiễm EUV và ArF được sử dụng trong CAR Vào tháng 1 năm 2026, một tòa nhà nghiên cứu mới sẽ được hoàn thành trong Viện Phát triển Kuki (Thành phố Kuki, Tỉnh Saitama) và chúng tôi có kế hoạch tăng cường hơn nữa hệ thống phát triển vật liệu ALD và vật liệu cho CAR và MOR
　kèo nhà cái euro sẽ tiếp tục dẫn đầu đổi mới công nghệ trong quy trình in thạch bản tiên tiến bằng vật liệu, giành thị phần hàng đầu thế giới về vật liệu CAR tiên tiến và cung cấp vật liệu MOR hỗ trợ kỹ thuật in thạch bản bán dẫn thế hệ tiếp theo

Để biết chi tiết, vui lòng tham khảo bản tin dưới đây

• Tin tức phát hành
  (PDF: 561,4 KB)